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    松諾盟,為中國“硬核芯”增添力量

    分類:公司新聞 2020-09-11 17:36:00

    松諾盟科技有限公司是致力于自主知識產權的高性能納米薄膜壓力傳感器芯體、納米薄膜壓力傳感器、變送器及精密儀器儀表研發、生產和銷售的高新技術企業。


    公司引進世界先進的生產和檢測設備,采用國際先進的生產技術和工藝,經全體員工的共同努力,納米薄膜壓力傳感器芯體及高性能壓力傳感器已經問世,經國防科技工業第一計量測試研究中心檢測,整體性能達到世界先進水平,熱零點漂移等個別指標(熱零點漂移不做任何補償的情況下不大于 0.001% FS/℃)達到同類產品世界先進水平。納米薄膜壓力傳感器芯體和納米薄膜壓力傳感器產品如下圖 1、2 所示。同時松諾盟公司利用高性能的納米薄膜壓力傳感器芯體制造的由壬薄膜壓力變送器,整體性能達到世界先進水平,產品如圖 3 所示。



    納米薄膜壓力芯體.png

    圖 1  納米薄膜壓力傳感器芯體


    軍用納米薄膜壓力傳感器.png

    圖 2  納米薄膜壓力傳感器



    納米薄膜由壬薄膜壓力變送器.png

    圖 3  納米薄膜由壬壓力變送器


    納米薄膜壓力傳感器芯體(敏感元件)是利用超高真空原子薄膜技術,將絕緣材料、敏感應變電阻材料、焊盤層材料、保護層材料等以原子形式淀積在彈性體不銹鋼膜片上,形成原子融合的絕緣薄膜、電阻敏感材料薄膜、焊盤層、保護層等納米薄膜。再經過精密光刻、調阻等工藝,在彈性體不銹鋼膜片上形成牢固而穩定的惠斯頓電橋電路。當被測介質作用于彈性體不銹鋼膜片時,其上的惠斯頓電橋產生正比于壓力的電信號輸出。


    以上原子薄膜沉積工藝是納米薄膜壓力傳感器芯體優異性能的有力保障。


    另外,我們采用特殊組分金屬合金敏感材料,在 400℃ 高溫下可長期穩定工作,且 TCR≤2ppm/℃。這是納米薄膜壓力傳感器芯體優異性能的又一保障,也是松諾盟公司的核心專利技術之一。


    納米薄膜壓力傳感器芯體的主要特點與技術參數如下:


    產品特點



    • 新型敏感材料專利技術,采用國際先進的納米薄膜工藝及微機械加工技術制成。

    • 不受傳統的金屬箔式應變計粘貼工藝引入的蠕變、遲滯、老化缺陷的影響,長期穩定性好,工作可靠。

    • 無PN結引入的溫度誤差大和工作溫區小的問題,具有優良的溫度特性。

    • 優質不銹鋼彈性膜片材料,介質兼容性好,抗腐蝕性能強。無隔離膜片,不用灌油充液。

    • 高穩定性,壓力傳感器經1000萬次壓力循環,其漂移量小于0.1%FS/年。



    技術參數


    • 測量范圍:(0~0.5~10~35~70~100~250)MPa。

    • 工作溫度:(-196~+85)℃,(-40~+125)℃,(-40~+150)℃,(-40~+300)℃。

    • 穩定性:≤±0.1%FS(12個月)。

    • 綜合精度:±0.075%FS、±0.1%FS、±0.2%FS、±0.3%FS(包括非線性、重復性及遲滯誤差)。

    • 零點溫度漂移:≤±0.002% FS/℃。


    納米薄膜壓力傳感器芯體是高性能壓力傳感器、變送器的核心部件,它同時具有精度高、長期穩定性好、工作溫度范圍寬、體積小、功耗低、耐惡劣環境等優點,是我國武器裝備、冶金、石化、核工業、電力、交通、橡膠、物聯網等領域理想的壓力測控產品,完全國產,可替代進口產品。


    納米薄膜壓力傳感器芯體具有完全自主知識產權,它的誕生,為中國“硬核芯”注入了活力,增添了力量,必將為中國新基建領域基礎設施信息化、智能化和中國傳感器技術發展做出積極貢獻。



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